Общероссийский классификатор стандартов → ХИМИЧЕСКАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ → Органические химические вещества → Органические химические вещества прочие
ГОСТ Р 52250-2004. Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия
Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
| Название на англ.: | Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications |
| Тип документа: | стандарт |
| Статус документа: | действующий |
| Число страниц: | 31 |
| Дата актуализации текста: | 22.03.2010 |
| Дата актуализации описания: | 22.03.2010 |
| Дата издания: | 02.07.2004 |
| Дата введения в действие: | 01.01.2005 |
| Дата последнего изменения: | 23.06.2009 |
